帶SLI2安全認證的在線硅烷氣體檢測儀在半導體行業(yè)的應用

硅烷巨成為半導體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體,用干各種微電子酒膜制備,包括單品膜，微品，多品、氧化鞋、氛化硅，金屬硅化物等，硅烷的微電子應用還在向縱深發(fā)展:低溫外延，選擇外延，異質外延，不僅用干硅器件和硅集成電路，也用干化合物半導體器件(砷化鎵，碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制備中也有應用。可以說現(xiàn)代幾乎所有先進的集成電路的生產(chǎn)線都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關系極大，更高級的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷丙硅烷)。所以在半導體行業(yè)，硅烷的應用是非常廣泛的。

但是硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、頭暈并刺激上呼吸道，硅烷會刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結晶二氧化硅的原因。暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷，如果硅烷濃度過高，對現(xiàn)場的工作人員有一定的危害性，不利于健康。

深國安帶SLI2安全認證的在線硅烷氣體檢測儀應用于半導體現(xiàn)場硅烷檢測，24小時連續(xù)在線監(jiān)測硅烷及溫濕度的測量，可同時擴展檢測1～6種氣體濃度和溫濕度,現(xiàn)場顯示濃度和超標聲光報警，遠程數(shù)據(jù)傳輸。采用2.5寸高清彩屏實時顯示濃度，選用電化學氣體傳感器、，國安帶SLI2安全認證的在線硅烷氣體檢測儀先進的電路設計、成熟的內核算法處理，取得了多項軟件著作磚利和外觀磚利，國安帶SLI2安全認證的在線硅烷氣體檢測儀可以檢測管道中或受限空間、大氣環(huán)境中的氣體濃度也可以檢測氣體泄漏，還可以檢測高濃度單一氣體的純度。堅固耐用的防爆外殼和氟碳漆表面處理工藝適用于各種危險場所和強酸強堿的腐蝕性環(huán)境，耐磨損，10年內不褪色和掉漆。

深國安帶SLI2安全認證的在線硅烷氣體檢測儀特點

●任何氣體尺寸統(tǒng)一、信號統(tǒng)一、用法統(tǒng)一；
●擴散式、泵吸式兩種采樣方式可選；
●可選配專屬標氣罩，由擴散式氣室變成泵吸式氣室；
●一體泵吸式氣室可選，方便泵吸式采樣；
● 只需對接一次，即可對應1000多種可燃、有毒和揮發(fā)性氣體，一勞永逸；